Nauka innov. 2012, 8(2):39–42
https://doi.org/10.15407/scin8.02.039

А.Г. Держипольский1, Д.А. Меленевский1,2
1ООО «НОВАЦИИ», Киев
2Институт физики НАН Украины, Киев

 

Просвечивающая электронная микроскопия вчера и сегодня: расширяя границы познаваемого

Раздел: Мир инноваций
Язык статьи: русский
Аннотация: Представлен краткий обзор основных этапов развития электронной микроскопии. Главное внимание уделено передовым достижениям в технике просвечивающей электронной микроскопии и описанию современных микроскопов с коррекцией аберраций 5-го порядка, позволяющих получать изображения с субангстремным пространственным разрешением.
Ключевые слова: просвечивающая электронная микроскопия, коррекция аберраций, атомное разрешение, идентификация отдельных атомов.

Полный текст (PDF)

Литература:
1. Aberration correction past and present . Phil. Trans. R.Soc. A .- 2009. - vol. 367. -No. 1903. - Р. 3637-3664.
2. Krivanek O.L., Dellby N., Spence A.J. et all. Aberration correction in the STEM . In: Inst. Phys. Conf. Ser. 153 (Proceedings 1997 EMAG meeting) Ed. Rodenburg JM, 35. - University of Cambridge, 2-5 September. - 1997.
3. Batson P.E., Dellby N. and Krivanek O.L. Sub-ångstrom resolution using aberration corrected electron optics .Nature. - 2002. - No. 418. - Р. 617.
4. N. Dellby et al. Optimized quadrupole-octupole C3/C5 corrector for STEM . CPO7 proceedings. - 2006. P. 97.
5. Krivanek O.L. et al. Aberration Correction in STEM (Chapter in Handbook of Charged Particle Optics, Jon Orloff, ed., CRC Press). - 2008.
6. Krivanek O.L. at al. An electron microscope for the aberration-correctedera . Ultramicroscopy Volume 108, Issue 3, February 2008. P. 179-195.
7. Muller D.A., Fitting Kourkoutis L., Murfitt M. et all. Atomic-Scale Chemical Imaging of Composition and Bonding by Aberration-Corrected Microscopy . Science 319. - 2008. - Р. 1073.
8. Krivanek O.L., Chisholm M.F., Nicolosi V. et all. Atombyatom structural and chemical analysis by annular dark field electron microscopy . Nature. - 2010. - 464. -Р. 571-574.
9. Krivanek O.L., Dellby N., Murfitt M.F. et all. Gentle STEM: ADF imaging and EELS at low primary energies . Ultra microscopy. - 110. - Р. 935-945.
10. Varela M., Findlay S.D., Lupini A.R et all. (2004) Spectroscopic Imaging of Single Atoms Within a Bulk Solid .Phys. Rev. Lett. - 92. - Р. 095502.