Nauka innov. 2012, 8(2):17–22
https://doi.org/10.15407/scin8.02.017

В.Е. Сторижко, В.И. Мирошниченко, А.Г. Пономарев
Институт прикладной физики Национальной академии наук Украины, Сумы

 

Изготовление микро- и нано размерных структур с применением протонной пучковой литографии: современное состояние и перспективы развития

Раздел: Мир инноваций
Язык статьи: русский
Аннотация: Рассмотрено применение сфокусированных пучков протонов с энергией нескольких МэВ в технологии изготовления микро- и наноразмерных структур. Показаны отличительные особенности взаимодействия энергетичных протонов с резистивными материалами. Дано представление о современном состоянии технологии протонной пучковой литографии и сформулированы перспективы ее развития.
Ключевые слова: протонная пучковая литография, ядерный сканирующий микрозонд, фабрикация наноструктур.

Полный текст (PDF)

 

Литература:

1. Springham S.V., Osipowicz T., Sanchez J.L. et al. Micromachining using deep ion beam lithography . Nucl.Instr. and Meth. B. - 1997. - Vol. 130. P. 155-159.
2. Kan J.A., van, Sanchez J.L., Xu B. et al. Micromachining using focused high energy ion beams: Deep Ion Beam Lithography . Nucl. Instr. and Meth. B. - 1999. -Vol. 148. P. 1085-089.
3. Watt F. Focused high energy proton beam micromachining: A perspective view . Nucl. Instr. and Meth. B. -1999. - Vol. 158. P. 165-172.
4. Явор С. Я. Фокусировка заряженных частиц квадрупольными линзами. - М.: Атомиздат, 1968. - 263 c.
5. Watt F., Grime G. Principles and applications of highenergy microbeams. Bristol UK: Adam Hilger Ltd. -1987. - 230 p.
6. http:.www.srim.org/SRIM/SRIMLEGL.htm
7. Chiam S.Y., van Kan J.A., Osipowicz T. Sidewall quality in proton beam writing . Nucl. Instr. and Meth. B. -2007. - Vol. 260. P. 455-459.
8. Mous D.J.W., Haitsma R.G., Butz T. et al. The novel ultrastable HVEE 3.5 MV Singletron™ accelerator for na noprobe applications . Nucl. Instr. and Meth. B. -1997. - Vol. 130. P. 31-36.
9. Breese M.B.H., Grime G.W., Linford W., Harold M. An extended magnetic quadrupole lens for a high- resolution nuclear microprobe . Nucl. Instr. and Meth. B. -1999. - Vol. 158. P. 48-52.
10. Ryan C.G. Jamieson D.N., Griffin W.L., Cripps G. The CSIRO-GEMOC nuclear microprobe: a high-performance system based on a new closely integrated design . Nucl. Instr. and Meth. B. - 1999. - Vol. 158. P. 18-23.
11. Watt F. van Kan J.A., Rajta I. et al. The National University of Singapore high energy ion nano-probe facility: Performance tests . Nucl. Instr. and Meth. B. - 2003. -Vol. 210. P. 14-20.
12. Kan J.A., van, Malar P., Vera A.B. et al. Proton beam writing nanoprobe facility design and first test results . Nucl.Instr. and Meth. A. - 2011. - Vol. 645. P. 113-115.
13. Rajta I., S.Z. Szilasi, P. Fürjes et al. Si micro-turbine by pro ton beam writing and porous silicon micromachining . Nucl. Instr. and Meth. B. - 2009. - Vol. 267. -P. 2292-2295.
14. Menzel F., Spemann D., Koal T., Butz T. 3D-structures with arbitrary shapes created in negative resists by grayscale proton beam writing . Nucl. Instr. and Meth. B. -2011. - Vol. 269. P. 2427-2430.
15. Kan J.A., van, A.A. Bettiol, S.Y. Chiam et al. New resists for proton beam writing . Nucl. Instr. and Meth. B. -2007. - Vol. 260. P. 460-463.
16. Kan J.A., van, Bettiol A.A., Watt F. Proton beam writing of three-dimensional nanostructures in hydrogen silsesquioxane . Nano Lett. - 2006. - Vol. 6, No. 3 P. 579-582.
17. Watt F., Breese M.B.H., Bettiol A.A. Proton beam writing . Materialstoday. - 2007. - Vol. 10, No. 6. P. 20-29.
18. Ponomarova A.A., Melnik K.I., Vorobjov G.S., Ponomarev A.G. One-stage probe-forming systems with quadrupole lenses excited by individual power supplies . Nucl. Instr. and Meth. B. - 2011. - Vol. 269. P. 2202-2205.
19. Ignat’ev I.G., Magilin D.V., Miroshnichenko V.I. et al. Immersion probe-forming system as a way to the compact design of nuclear microprobe . Nucl. Instr. and Meth.B. - 2005. - Vol. 231. P. 94-100.
20. Деклараційний патент на винахід No. 67341 Україна, МПК7 G 01 N 23/00. Спосіб дослідження структури і елементного складу речовини і пристрій для здійснення цього способу (мікрозонд іонний) / В.Ю. Сторіжко, О.Г. Пономарьов, В.І. Мірошниченко. - Заявник і власник Інститут прикладної фізики НАН України. - No. 2003038121; заявл. 01.09.2003; опубл. 15.06.2004, Бюл. No. 6. - 3 с.
21. Magilin D.V., Ponomarev A.G., Rebrov V.A. et al. Performance of the Sumy nuclear microprobe with the integrated probe-forming system . Nucl. Instr. and Meth. B. -2009. - Vol. 267. P. 2046-2049.
22. Rebrov V.A., Ponomarev A.G., Palchik V.K., Melnik N.G. The new design of magnetic quadrupole lens doublet manufactured from a single piece . Nucl. Instr. and Meth.B. - 2007. - Vol. 260. P. 34-38.